名称：高品级立方氮化硼膜外延生长实验平台

厂家：沈阳慧宇真空技术有限公司

型号：MFCF-3C

启用日期：2017年12月

简介：   

附件配置：

    无

主要功能：

    该套实验平台主要用于氮化硼的纳米级单层及多层多功能薄膜、单晶立方氮化硼薄膜的外延生长、氮化硼的工具涂层等

技术参数：

    温度 > 1200 ^oC

    真空度<10^-6 Pa 

样品要求：

    无

地点：唐敖庆楼C区322室

联系人：殷虹

联系电话：

E-mail：hyin@jlu.edu.cn