名称：热灯丝金刚石薄膜沉积系统

厂家：自制

型号：PCVD-500

启用日期：1995年5月

简介：

热灯丝化学气沉积系统是利用灯丝加热产生等离子体，分解含碳气体沉积在衬底上形成金刚石的设备，可以生长大面积高质量金刚石多晶膜。

附件配置：

分子泵，水冷机

主要功能：

生长面积高质量金刚石多晶膜

技术参数：

真空度1×10^-1 Pa，温度500 ^oC－1500 ^oC

地点：唐敖庆楼C区313室

联系人：王启亮

联系电话：0431-85168880

E-mail：wangqiliang@jlu.edu.cn