热灯丝金刚石薄膜沉积系统-超硬材料国家重点实验室

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热灯丝金刚石薄膜沉积系统

信息来源:本站 发布时间:2018-04-17

名称:热灯丝金刚石薄膜沉积系统

厂家:自制

型号:PCVD-500

启用日期:19955

简介:

热灯丝化学气沉积系统是利用灯丝加热产生等离子体,分解含碳气体沉积在衬底上形成金刚石的设备,可以生长大面积高质量金刚石多晶膜。

附件配置:

分子泵,水冷机

主要功能:

生长面积高质量金刚石多晶膜

技术参数:

真空度1×10-1 Pa,温度500 oC1500 oC

地点:唐敖庆楼C313

联系人:王启亮

联系电话:0431-85168880

E-mailwangqiliang@jlu.edu.cn