名称：热灯丝金刚石薄膜沉积系统
厂家：自制
型号：PCVD-500
启用日期：1995年5月
简介：
热灯丝化学气沉积系统是利用灯丝加热产生等离子体，分解含碳气体沉积在衬底上形成金刚石的设备，可以生长大面积高质量金刚石多晶膜。
附件配置：
分子泵，水冷机
主要功能：
生长面积高质量金刚石多晶膜
技术参数：
真空度1×10-1Pa，温度500oC－1500oC
地点：唐敖庆楼C区313室
联系人：王启亮
联系电话：0431-85168880
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