题目：金刚石微机电系统(MEMS)谐振红外探测器

报告人：顾克云，上海大学

时间：2026年4月14日下午13:30

地点：超硬材料综合实验室5楼A514会议室

摘要：红外探测技术在GF预警、深空探测、应急救援、智能汽车及高温过程监测等领域应用广泛。面向极端高温、强辐照环境，亟需高灵敏、低噪声、抗干扰的红外探测技术。然而，光子型红外探测器依赖制冷系统，传统热型红外探测器灵敏度受限，MEMS谐振式红外探测器虽具优势，但长期受制于“高响应与低噪声难以兼得”的瓶颈。本报告提出“软-硬”异质结构（ShMART）与声子工程策略：以单晶金刚石为“硬”基底抑制热噪声，在其上集成TiOₓ/Ti“软”吸收层，通过声子态密度失配增强界面热梯度，实现光-热-力转换增强与噪声解耦。器件在室温至483 K范围内实现约1012 Jones的高比探测率，为极端环境下红外监测、空间勘探及国防预警等智能感知应用提供了新的技术路径。

个人简介：顾克云，目前在上海大学与日本国立物质材料研究所（NIMS）攻读博士学位，博士研究课题是金刚石光、机电传感器件。获得国家留学基金委奖学金、国家奖学金（2次）、政府和半导体企业奖学金（7次）及上海市优秀毕业生（硕士）。已在国际权威期刊及会议上发表论文31篇，其中以第一作者身份发表SCI研究型论文11篇、合作论文20篇。以第一作者身份发表于Advanced Functional Materials、IEEE MEMS、Carbon、Applied Physics Letters、Applied Surface Science、Vacuum、Journal of Materials Chemistry C等刊物。并多次在日本应用物理学会、日本金刚石会议、IEEE MEMS及NDNC等国内外学术会议作英文口头报告。